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机译:用于电磁控制的MEMS开关的钌基纳米级接触涂层
Contact resistanceelectrode coatingelectrolythic depositionmagnetically controlled MEMS.;
机译:通过新型方法改进了MEMS开关中金/金,金/钌和钌/钌欧姆接触的特性
机译:通过新型方法改进了MEMS开关中金/金,金/钌和钌/钌欧姆接触的特性
机译:电磁触点(簧片开关)的电镀涂层
机译:具有纳米级接触涂层的磁控MEMS开关
机译:原位表面清洁严格控制的真空环境对金和钌基射频微机电开关的接触电阻的影响。
机译:带磁性驱动触点的微型开关的奇异点位置控制
机译:电磁触点(簧片开关)的电镀涂层 sup>
机译:压电驱动RF mEms开关上金/铂和金/钌接触的比较