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机译:通过新型方法改进了MEMS开关中金/金,金/钌和钌/钌欧姆接触的特性
NovaMEMS c/o Centre National d'Etudes Spatiales Centre Spatial de Toulouse 18 Avenue Edouard Belin 31401 Toulouse Cedex 4, France Centre National de la Recherche Scientifique Laboratoire d'Analyse et d'Architechture des Systemes 7 Avenue du Colonel Roche F-31077 Toulouse, France Universite de Toulouse Universite de Paul Sabatier Institut National des Sciences Appliquees de Toulouse Institut National Polytechnique de Toulouse Institut Superieur de ℓ'Aeronautique et de ℓ' Espace Laboratoire d'Analyse et d'Architechture des Systemes F-31077 Toulouse, France;
NovaMEMS c/o Centre National d'Etudes Spatiales Centre Spatial de Toulouse 18 Avenue Edouard Belin 31401 Toulouse Cedex 4, France;
Centre National d'Etudes Spatiales Centre Spatial de Toulouse 18 Avenue Edouard Belin 31401 Toulouse Cedex 4, France;
Commissariat a ℓ'Energie Atomique - Laboratoire d'Electronique des Technologies de ℓ' Information, Minatec 17 Rue des Martyrs 38054 Grenoble Cedex 9, France;
Centre National de la Recherche Scientifique Laboratoire d'Analyse et d'Architechture des Systemes 7 Avenue du Colonel Roche F-31077 Toulouse, France Universite de Toulouse Universite de Paul Sabatier Institut National des Sciences Appliquees de Toulouse Institut National Polytechnique de Toulouse Institut Superieur de ℓ'Aeronautique et de ℓ'Espace Laboratoire d'Analyse et d'Architechture des Systemes F-31077 Toulouse, France;
NovaMEMS c/o Centre National d'Etudes Spatiales Centre Spatial de Toulouse 18 Avenue Edouard Belin 31401 Toulouse Cedex 4, France Intesens SAS 10 Avenue de ℓ'Europe 31520 Ramonville, France;
Centre National de la Recherche Scientifique Laboratoire d'Analyse et d'Architechture des Systemes 7 Avenue du Colonel Roche F-31077 Toulouse, France Universite de Toulouse Universite de Paul Sabatier Institut National des Sciences Appliquees de Toulouse Institut National Polytechnique de Toulouse Institut Superieur de TAeronautique et de ℓ'Espace Laboratoire d'Analyse et d'Architechture des Systemes F-31077 Toulouse, France;
microelectromechanical system; switch; microcontact; contact material; contact temperature; creep; gold; ruthenium;
机译:通过新型方法改进了MEMS开关中金/金,金/钌和钌/钌欧姆接触的特性
机译:用于低温水煤气变换反应的金钌铁氧化物催化体系金钌相互作用的检验
机译:金基薄层,用于RF-MEMS开关中的欧姆接触
机译:用于聚合物封装的微型开关的钌/金硬质表面/低电阻率接触金属化,具有应力减小的瓦楞SIN / SiO2隔膜
机译:原位表面清洁严格控制的真空环境对金和钌基射频微机电开关的接触电阻的影响。
机译:包含第二个辅助配体的阳离子N-杂环碳-金(I)配合物的多功能合成。异双金属钌金抗癌药的设计
机译:通过新型方法改进了MEMS开关中Au / Au,Au / Ru和Ru / Ru欧姆接触的特性
机译:压电驱动RF mEms开关上金/铂和金/钌接触的比较