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机译:PDMS的选择性蚀刻:用作正型抗蚀剂的蚀刻技术
Hungarian Acad Sci, Inst Nucl Res, POB 51, H-4001 Debrecen, Hungary;
Univ Debrecen, Dept Solid State Phys, POB 2, H-4010 Debrecen, Hungary;
PDMS; Resist; Development; Etching; Irradiation; Proton Beam Writing (PBW);
机译:PDMS的选择性蚀刻:作为负性抗蚀剂蚀刻
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机译:通过离子注入和选择性蚀刻技术生产的自支撑薄硅单晶以及几种应用
机译:正畸粘接技术中氟化刻蚀酸的临床应用研究
机译:垂直和斜面结构的SiC蚀刻技术结合了用于各种微电子应用的不同混合气体等离子体
机译:pDms的选择性蚀刻:作为负性抗蚀剂的蚀刻
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