机译:以十八烷基三氯硅烷自组装单层为抗蚀剂材料的大面积图案设计
Nagoya Univ, Ctr Integrated Res Sci & Engn, Chikusa Ku, Nagoya, Aichi 4648603, Japan;
Aichi Sci & Technol Fdn, Nagoya, Aichi 4600002, Japan;
Natl Ctr Nanosci & Technol, Beijing 100080, Peoples R China;
n-octadecyltrichlorosilane; self-assembled monolayer; vacuum ultraviolet (VUV) photolithography; characterization; SOFT LITHOGRAPHY; SURFACE; CORROSION; SILICON; FILMS; ALKYLTRICHLOROSILANES; OCTADECYLSILOXANE; METALLIZATION; PASSIVATION; ADSORPTION;
机译:由十八烷基三氯硅烷和苯基三氯硅烷的自组装单层构图的溶液处理的有机场效应晶体管
机译:由十八烷基三氯硅烷和苯基三氯硅烷的自组装单层图案化的溶液处理的有机场效应晶体管
机译:有机材料的等离子体表面改性:聚乙烯薄膜与十八烷基三氯硅烷自组装单层薄膜的比较
机译:γ-氨基丙基三甲氧基硅烷和八氯丙基三氯硅烷在钛膜上自组装单层的制备及表征
机译:自组装单分子层用作封盖剂和可调整的抗蚀剂,用于图案结构的位置选择性电沉积。
机译:低于10 nm的TiO2纳米粒子自组装单层的电阻转换
机译:改进的十八烷基三氯硅烷自组装单分子膜作为正阻层,用于亚稳氦原子束光刻
机译:聚合物自组装单层膜。 3.利用光刻,电化学方法和超薄自组装二乙炔抗蚀剂进行图案转移