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机译:使用电子束光刻技术制造具有单电子晶体管读数的直接探测器阵列的隧道结
SQUIDs; electron beam lithography; radiotelescopes; single electron transistors; submillimetre astronomy; submillimetre wave detectors; Al; SQUID; antenna coupled superconducting tunnel junction; bilayer; direct detector array; double-angle deposition; electron beam;
机译:使用电子束光刻技术制造具有单电子晶体管读数的直接探测器阵列的隧道结
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