...
机译:通过双光子光聚合和反应离子刻蚀在硅上制备高纵横比的亚衍射极限结构
Institute of Applied Science and Engineering Research, Academia Sinica, Taipei 115, Taiwan;
fabrication techniques; lithography; pattern transfer; nonlinear optics with polymers; lithography; masks and pattern transfer;
机译:使用反应离子刻蚀滞后和牺牲氧化技术在体硅中高纵横比结构的单掩模三维微加工
机译:用于制备悬浮高纵横比微结构的单次运行单面膜电感耦合等离子体反应离子刻蚀工艺
机译:SU-8高纵横比结构和纳米线的超快激光诱导双光子光聚合
机译:具有双光子吸收光聚合制备的高纵横比副衍射极限物体
机译:苯并环丁烯聚合物与采用各向异性湿法刻蚀制造的硅微机械结构的集成。
机译:通过深反应离子蚀刻制造高纵横比硅光栅
机译:双光刻和深反应离子刻蚀制备的疏水性硅纳米结构阵列的大规模图案化