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Dose effects in electron beam irradiation of DNA-complex thin films

机译:DNA复合薄膜在电子束辐照中的剂量效应

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摘要

Electron beam irradiation of double-stranded DNA (dsDNA)-surfactant thin films was investigated. Irradiation caused dissociation, leading to increasing thin film solubility in water and degradation of dsDNA. These two effects produced a maximum concentration of dsDNA in aqueous solution at 400 μC/cm2 dose. These properties resulted in dual-mode resist characteristics of the DNA-surfactant films. At low dose, the DNA films functioned as positive resist while at high dose they worked as negative resist. The transition between the two regimes also occurred at 400 μC/cm2. This implies that the cross-linking process (typical for negative resists) first requires the dissociation of the DNA-surfactant complex.
机译:研究了双链DNA(dsDNA)-表面活性剂薄膜的电子束辐照。辐照引起解离,导致薄膜在水中的溶解度增加和dsDNA降解。这两种作用在400μC/ cm2剂量下在水溶液中产生了最大的dsDNA浓度。这些性质导致了DNA表面活性剂膜的双模抗蚀剂特性。在低剂量时,DNA膜起正抗蚀剂的作用,而在高剂量时,它们起负抗蚀剂的作用。两种模式之间的转换也发生在400μC/ cm2的情况下。这意味着交联过程(通常对于负性抗蚀剂而言)首先需要解离DNA表面活性剂复合物。

著录项

  • 来源
    《Applied Physics Letters》 |2010年第6期|P.063702-063702-3|共3页
  • 作者单位

    Nanoelectronics Laboratory, University of Cincinnati, Cincinnati, Ohio 45221-0030, USA;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
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