机译:与当前基于硅的微电子技术兼容的高性能Pb0.4Sr0.6TiO3薄膜的低温结晶
Key Laboratory of Inorganic Functional Materials and Devices, Shanghai Institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, 1295 Dingxi Road, Shanghai 200050, People's Republic of China|c|;
机译:与当前的基于硅的微电子技术兼容的高性能Pb_(0.4)Sr_(0.6)Ti0_3薄膜的低温结晶
机译:适用于低温(≤220℃)柔性基板的硅基技术的电感耦合等离子体化学气相沉积
机译:利用低温金属诱导的单晶结晶的高性能多晶硅薄膜晶体管技术
机译:利用改进的工艺流程和栅调制轻掺杂漏极结构抑制低温金属诱导的单晶硅多晶硅薄膜晶体管的漏电流
机译:含硅化合物的化学和基于硅的微电子材料的分子方法。制备金属甲硅烷基络合物,研究亚烷基与硅烷之间的反应以及氧化钛薄膜的沉积。
机译:勘误:在与硅纳米和微电子器件兼容的温度下高性能锆钛酸铅钛酸盐的活性层
机译:与硅集成电路技术兼容的铁电薄膜的低温处理