分次硅离子注入再结晶多晶硅薄膜

摘要

本文提出了用分次硅离子注入再结晶法来处理多晶硅薄膜,并用透射电镜(TEM)和X射线衍射技术观察分析了处理后的多晶硅薄膜的晶粒尺寸和薄膜组成结构。结果表明:分次注入法确实有助于获得晶粒尺寸。大,同时晶粒晶向一致性好的多晶硅薄膜。