机译:使用低于20keV离子的有源衬底在硅中进行受控浅单离子注入
Centre for Quantum Computer Technology, School of Physics, University of Melbourne, Victoria 3010, Australia;
机译:单离子植入锗原子硅空位的位置控制官能化
机译:通过将磷注入到硅基板上的Pd或Pd_2Si薄膜中并随后进行退火来形成钯硅化的浅n〜+ p结
机译:离子注入硅的光学性质以及在绝缘体上的氧硅在红外中的注入分离:B〜+和P_2〜+注入掺杂的研究
机译:快闪退火和常规快速热退火后,P型硅衬底上超浅注入的P〜+层的表征
机译:通过碳化和单晶衬底的离子注入开发碳化硅衬底。
机译:硼植入的硅基质可物理吸附DNA折纸
机译:使用受控单离子注入的基于电荷的硅量子计算机体系结构
机译:离子注入技术同时形成浅硅p-n结和浅硅化物 - 硅欧姆接触。