机译:准分子激光预退火Si中硼的扩散增强
Department of Physics, Physical Electronics, University of Oslo, P.O. Box 1048 Blindern, N-0316 Oslo, Norway;
机译:准分子激光退火硅中硼的增强扩散
机译:非熔融准分子和绿色激光退火在浅p〜+ / n结形成过程中硼在硅中的扩散比较
机译:非熔融准分子激光退火在浅p In结形成过程中硅中硼的扩散行为
机译:锗预非晶化注入,预退火RTA和后退火非熔融准分子激光(NLA)工艺的结合,在浅p〜+ / n结形成过程中硼的扩散行为
机译:硼在硅中瞬态增强扩散的建模和控制。
机译:193 nm ArF受激准分子激光在激光辅助等离子体增强SiNx的化学气相沉积中的作用以进行低温薄膜封装
机译:氟注入剂量对si1-xGex中硼瞬态增强扩散和硼热扩散的影响
机译:从超低能量硼注入中硼增强硼的扩散