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机译:准分子激光退火硅中硼的增强扩散
Department of Physics, Physical Electronics, University of Oslo, P.O. Box 1048, Blindern, N-0316 Oslo, Norway;
boron-enhanced diffusion; excimer laser annealing; transient enhanced diffusion;
机译:低温低压化学气相沉积生长多晶硅的原位准分子激光退火:金属扩散对薄膜形貌和生长速率的影响
机译:通过低温KrF准分子激光退火在高迁移率a-InGaZnO薄膜晶体管中进行H和Au扩散
机译:在准分子激光退火下Ni / 4H-SiC中的扩散,熔化和反应相互作用
机译:锗预非晶化注入,预退火RTA和后退火非熔融准分子激光(NLA)工艺的结合,在浅p〜+ / n结形成过程中硼的扩散行为
机译:基准激光退火Si薄膜的微观结构分析与表面平面
机译:准分子激光退火形成的选择性预图案自由自组装Ge纳米点的研究
机译:使用KRF准分子激光通过激光诱导荧光丙烷扩散火焰中的OH测量。
机译:脉冲准分子激光(308海里)退火离子注入硅和太阳能电池制造