机译:氮气添加显着改善高压氢基等离子体的铜干蚀性能
机译:通过在远程全氟化碳等离子体中添加含氮气体来提高硅和二氧化硅的蚀刻速率
机译:高密度等离子体下添加O 2 sub>气体的HfAlO 3 sub>薄膜的干刻蚀性能
机译:氧气和氮气添加对含氟硅氮化硅反应离子蚀刻的影响
机译:在微机电系统的高密度等离子体源中干法蚀刻高纵横比的硅微结构。
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:通过在Cl2 / BCl3电感耦合等离子体中添加气体来干蚀刻ITO薄膜
机译:电感耦合等离子体(ICp)干蚀刻中三氯化硼/氯气体分子外延生长p型氮化铝镓的刻蚀特性及表面分析