University of Michigan.;
机译:基于感应耦合等离子体源刻蚀高纵横比Si微结构的Cl_2和F基干法刻蚀的比较
机译:使用氟基高密度等离子体对硼硅玻璃进行深干刻蚀,用于微机电系统的制造
机译:基于深反应离子刻蚀的硅高级刻蚀,用于硅高纵横比微结构和三维微纳结构
机译:在低等离子密度反应离子刻蚀系统中,使用SF6 / H2 / O2等离子的高纵横比深硅微/纳米级特征刻蚀
机译:使用六氟化硫/氧等离子体在硅中蚀刻高深宽比结构。
机译:硅中电荷载流子的高阳极电压聚焦使得能够以高密度和高纵横比蚀刻规则排列的亚微米孔
机译:使用干蚀刻和电镀制造具有高纵横比,双层,圆柱形微结构的Ni印模:纸
机译:在HBr等离子体中蚀刻硅以获得高纵横比特征