BEOL; CMOS; MEMS; resonator; etching; resonance; quality factor; pressure sensor;
机译:在8金属130 nm CMOS中的BEOL集成MEMS压力传感器电容器的后处理和性能分析
机译:释放蚀刻和表征集成在标准8金属130 nm CMOS工艺中的MEMS电容式压力传感器
机译:CMOS-MEMS谐振压力传感器的特性
机译:适用于飞轮MEMS陀螺仪Σ-Δ调制器的低功耗,低芯片面积抽取滤波器,采用CMOS 180 nm技术实现
机译:用于惯性传感器的Silicon-CMOS-MEMS技术
机译:用于汽车压力和温度复合传感器的信号调理IC中采用180 Nm CMOS技术的低功耗小面积符合AEC-Q100标准的SENT发送器的设计
机译:设计低功耗,小区域AEC-Q100标准的发送器,在180nm CMOS技术中为汽车压力和温度复杂传感器发送信号调节IC中的发射机