机译:CMOS-MEMS谐振压力传感器的特性
Nanusens, CENT-Parc Tecnològic del Vallès, Cerdanyola del Vallès, Spain;
Nanusens, CENT-Parc Tecnològic del Vallès, Cerdanyola del Vallès, Spain;
Department of Electronic Engineering, Universitat Politècnica de Catalunya, Barcelona, Spain;
Pressure sensors; Temperature measurement; Temperature sensors; Performance evaluation; Micromechanical devices; Temperature;
机译:CMOS-MEMS谐振压力传感器:通过比较分析优化和验证
机译:CMOS-MEMS面内电磁线圈的开发,用作三轴共振磁传感器
机译:热激励和压阻感测CMOS-MEMS谐振传感器的优化设计
机译:用于颅内压监测的CMOS-MEMS电容传感器:传感器制造与系统设计
机译:具有用于滤波器和温度传感器应用的嵌入式加热器的CMOS-MEMS新型谐振器的设计,制造和表征。
机译:基于洛伦兹力的CMOS-MEMS磁场传感器的光学表征
机译:CmOs-mEms谐振式压力传感器的特性
机译:CmOs-mEms中的力检测核磁共振传感器