lithium niobate; RF MEMS; piezoelectric resonators; high-temperature; SH0 mode;
机译:使用两端口横向振动铌酸锂MEMS谐振器的单片多频宽带RF滤波器
机译:横向振动铌酸锂MEMS谐振器的品质因数增强
机译:使用铌酸锂横向振动谐振器的中规模集成的宽带射频滤波器
机译:品质因数大于1,500的铌酸锂横向振动谐振器的品质因数研究
机译:高Q铌酸锂微/纳米谐振器
机译:压电MEMS横向振动谐振器中的耗散分析方法和Q增强策略:综述
机译:横向振动锂铌酸锂MEMS谐振器阵列在空气中以500℃运行