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A Laterally Vibrating Lithium Niobate MEMS Resonator Array Operating at 500 °C in Air

机译：横向振动锂铌酸锂MEMS谐振器阵列在空气中以500℃运行

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Savannah R. Eisner; Cailin A. Chapin; Ruochen Lu; Yansong Yang; Songbin Gong; Debbie G. Senesky;
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年度 2020
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