蟹脚型微谐振器的横向振动分析

摘要

在结构和受力的对称性并非完全相同的认识基础上 ,建立了蟹脚型静电微谐振器横向振动的简化力学模型 ,分析了其蟹脚型挠性支承杆的受力情况 ,发现其属五次静不定问题 ,据此导出了相关应力、横向位移、弹性常数和谐振频率等设计计算方法 ,与已有静定力学模型的分析结果相比 。