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静电梳微谐振子直脚型结构的振动特性

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静电梳微谐振子是微机械领域常用的直线型驱动装置.运用梁的理论讨论了一种常见的结构--直脚型结构的振动特性,提出了计算结构谐振频率的实用算法.并探讨了影响谐振频率的几何参数,得到的结论对静电梳微谐振子的设计具有指导意义.

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来源
《机械设计与制造工程》 |2000年第3期|6-7,11|共3页
作者
丁晓红; 陈晓阳; 沈雪瑾;
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作者单位

苏州大学,工学院,江苏,苏州,215021;

上海大学,轴承研究室,上海,200072;

上海大学,轴承研究室,上海,200072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械振动学;
关键词
直脚型结构; 静电梳微谐振子; 谐振频率; 微机械;

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