MEMS piezoresistive cantilever sensors; dynamic mode; carbon nanoparticle; particle mass measurement;
机译:基于压阻NEMS检测的面内和面外MEMS陀螺仪
机译:传感应用中悬臂平面共振模式的热激励和压阻检测
机译:基于MEMS压阻性悬臂的高敏感气压变速传感器的时间响应特性
机译:自感压阻Si悬臂梁传感器用于确定碳纳米颗粒质量的用途
机译:亚纳质量负载的CMOS-MEMS悬臂谐振器振荡器,用于气体检测。
机译:利用压阻悬臂的基于MEMS的脉搏波传感器
机译:基于压阻NEMS检测的面内和面外MEMS陀螺仪