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【2h】

Ultrathin MEMS thermoelectric generator with Bi2Te3/(Pt Au) multilayers and Sb2Te3 legs

机译:具有Bi2Te3 /(PtAu)多层和Sb2Te3腿的超薄MEMS热电发生器

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摘要

Cross-section SEM images of the multilayer thin films Bi Te /Au, annealed Bi Te /Au, Bi Te /Pt, Annealed Bi Te /Pt. The insets in and show the schematic transformation of the Bi Te /Au and Bi Te /Pt multilayers as a function of the temperature, respectively
机译:多层薄膜Bi Te / Au,退火Bi Te / Au,Bi Te / Pt,退火Bi Te / Pt的横截面SEM图像。图中的插图分别显示了Bi Te / Au和Bi Te / Pt多层膜随温度的变化示意图。

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