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Europium Silicide – a Prospective Material for Contacts with Silicon

机译:硅化–一种与硅接触的潜在材料

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摘要

Metal-silicon junctions are crucial to the operation of semiconductor devices: aggressive scaling demands low-resistive metallic terminals to replace high-doped silicon in transistors. It suggests an efficient charge injection through a low Schottky barrier between a metal and Si. Tremendous efforts invested into engineering metal-silicon junctions reveal the major role of chemical bonding at the interface: premier contacts entail epitaxial integration of metal silicides with Si. Here we present epitaxially grown EuSi2/Si junction characterized by RHEED, XRD, transmission electron microscopy, magnetization and transport measurements. Structural perfection leads to superb conductivity and a record-low Schottky barrier with n-Si while an antiferromagnetic phase invites spin-related applications. This development opens brand-new opportunities in electronics.
机译:金属-硅结对半导体器件的运行至关重要:积极的缩放要求低电阻的金属端子来代替晶体管中的高掺杂硅。它建议通过金属和Si之间的低肖特基势垒进行有效的电荷注入。在工程金属-硅结上的大量投入揭示了界面化学键合的主要作用:主要接触需要金属硅化物与Si外延集成。在这里,我们介绍了外延生长的EuSi2 / Si结,其特征是RHEED,XRD,透射电子显微镜,磁化和传输测量。结构的完美实现了极好的导电性和n-Si的低肖特基势垒,而反铁磁相则引发了自旋相关的应用。这一发展为电子业带来了全新的机遇。

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