机译:典型气相沉积空穴传输玻璃中与衬底温度有关的介电过程的出现
机译:汽相沉积的乙基环己烷玻璃的失透特性及汽相沉积玻璃形成的分子机理的解释
机译:SiH_4后和等离子体处理对多孔低介电常数和Cu集成的化学气相沉积TiN阻挡层的化学气相沉积Cu种子的影响
机译:微观结构的形成对气相沉积玻璃稳定性的影响
机译:在化学气相沉积氧化钇高k电介质处理过程中的界面反应。
机译:使用低压化学气相沉积的Si3N4介电层改善介电电润湿微流体器件的介电性能
机译:使用热可降解的化学气相沉积聚合物膜,用于低损伤高度多孔电介质的等离子体加工