calibration linewidth lithography magnification pitch scanning electron microscope SEM standard;
机译:使用扫描电子显微镜对有或没有放大镜的手动缩放和牙根刨的比较评估:一项初步研究
机译:电子束光刻法制备菲涅耳波带片及其在测量临界尺寸扫描电子显微镜性能中的应用
机译:光刻技术的扫描电子显微镜信号的蒙特卡洛模拟
机译:衍射光栅的校准用作SEM(扫描电子显微镜)放大校准中的线标准
机译:莫尔斯坎壳超微结构的扫描电子显微镜研究。
机译:新型美学纤维增强聚合物复合树脂弓丝:比较原子力显微镜(AFM)和场发射扫描电子显微镜(FESEM)的研究
机译:机械和热学材料性能对激光产生的弹坑形态的影响及其聚焦离子束和扫描电子显微镜成像的研究
机译:用于JEOL Jsm-2扫描电子显微镜的简单恒定放大标本支架。