methanol sensor tin dioxide cadmium sulfide heater;
机译:使用CMOS-MEMS技术的微型甲醇传感器的制造与表征
机译:使用CMOS-MEMS技术的带有振荡电路的葡萄糖传感器的制造
机译:CMOS-MEMS湿度传感器的制造与表征
机译:用于质量敏感型气体传感器的CMOS-MEMS谐振器上嵌入式微加热器的设计与表征
机译:具有用于滤波器和温度传感器应用的嵌入式加热器的CMOS-MEMS新型谐振器的设计,制造和表征。
机译:CMOS-MEMS湿度传感器的制造与表征
机译:使用CmOs-mEms技术制造和表征微量甲醇传感器
机译:DRIE CmOs-mEms陀螺仪的制作,表征和分析