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Metal Oxide Gas Sensors: Sensitivity and Influencing Factors

机译:金属氧化物气体传感器:灵敏度及其影响因素

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摘要

Conductometric semiconducting metal oxide gas sensors have been widely used and investigated in the detection of gases. Investigations have indicated that the gas sensing process is strongly related to surface reactions, so one of the important parameters of gas sensors, the sensitivity of the metal oxide based materials, will change with the factors influencing the surface reactions, such as chemical components, surface-modification and microstructures of sensing layers, temperature and humidity. In this brief review, attention will be focused on changes of sensitivity of conductometric semiconducting metal oxide gas sensors due to the five factors mentioned above.
机译:电导计量半导体金属氧化物气体传感器已在气体检测中得到广泛使用和研究。研究表明,气体传感过程与表面反应密切相关,因此气体传感器的重要参数之一,即基于金属氧化物的材料的灵敏度,会随着影响表面反应的因素而改变,例如化学成分,表面-感测层,温度和湿度的修改和微观结构。在这篇简短的评论中,由于上述五个因素,注意力将集中在电导率半导体金属氧化物气体传感器的灵敏度变化上。

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