氢气氛下电子辐照对氧化铝特性的影响

摘要

处在H2 气氛围下的氧化铝陶瓷受电子辐照时表面电导率会发生变化 ,这在某些应用中是非常重要的。本文采用X射线光电子谱仪对阳极氧化法制备的氧化铝薄膜 (厚度 6 0nm)作了模拟研究。结果表明 ,原制备的样品存在有氧化铝和氢氧化铝 2种化学状态 ,然而 ,经H2 气氛围下荷能电子 (5keV)辐照后 ,部分氢氧化铝态转变为氧化铝态。同时 ,样品表面的C污染将降低约 1个数量级。经上述处理后 。