离子束和电子束对SnO_x超微粒子薄膜表面特性的影响

摘要

本文讨论了用AES分析SnO_x超微粒子薄膜表面的有关问题。观察分析了成分和导电性不同的样品经离子束轰击清洗表面后,在AES的探针电子束连续轰击下,表面俄歇信号的峰形变化。利用SEM观察比较了离子束和电子束轰击区域和非轰击区域的图像。并与热退火样品作了对比。结果显示,轰击区域超微粒子薄膜的表面形貌变化很大,平均粒径显著增加。