离子束轰击对SnO_2超微粒子薄膜性质的影响

摘要

采用直流气体放电活化反应蒸发法，沉积成ＳｎＯ＿２超微粒子薄膜（ＵＰＦ）。以不同能量的离子束轰击薄膜表面，用扫描电子显微镜、俄歇电子能谱仪等，分析了离子束作用对ＳｎＯ＿２ＵＰＦ表面形貌和化学组成的影响。同时研究了离子束作用前后，ＳｎＯ＿２ＵＰＦ对乙醇的气敏性质的变化。