一种基于离子束轰击纳米薄膜发生塑性变形的纳米孔制造方法

摘要

本发明公开了一种基于离子束轰击纳米薄膜发生塑性变形的纳米孔制造方法，包括如下步骤：S1.在纳米薄膜上刻蚀出纳米通孔；S2.在步骤S1.的纳米薄膜正反两面沉积金属保护层；S3.采用离子束对步骤S2.的纳米通孔表面进行轰击处理，纳米通孔收缩至一定孔径；S4.去除金属保护层，得到收缩后的纳米通孔。本发明采用高速离子束对预制纳米孔表面进行轰击，纳米孔周围材料受到离子束轰击发生塑性变形并向纳米孔中心方向延伸，使得纳米孔孔径变小，截面变薄，得到所需小孔径薄截面纳米孔。本发明工艺简单，一方面可得到小孔径薄截面纳米孔，另一方面能够有效提高纳米孔疲劳强度和力学性能，延长使用寿命，在单分子检测等领域有着广泛的使用前景和应用价值。