ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ОСАЖДЕНИЯ НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК СеО2, ДОПИРОВАННЫХ Sm2O3, ПРИГОТОВЛЕННЫХ МЕТОДАМИ ФИЗИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА И ИЗ ИОННОГО ПУЧКА. МЕХАНИЧЕСКИЕ ТВЕРДОСТЬ И МОДУЛЬ УПРУГОСТИ

摘要

Исследовано влияние условий осаждения (состава, температуры осаждения Т_(dep) и бомбардировки ионами Аr~+) на электрические и механические свойства (микротвердость H_(pl) и модуль упругости Y) поликристаллических тонких пленок СеO2 + хSm2O3 (х = 0, 10.9-15.9 мол. %), приготовленных методами физического осаждения на кремниевую подложку из паров под действием электронного луча и из ионного пучка. Эти механические характеристики исследованы методом индентирования, чувствительного к глубине, как функции относительной глубины вдавливания h_(rel) = h_(max)/t, полученные данные сравнены с результатами измерений по классическому методу Виккерса.