离子束辅助沉积TiN薄膜的结构和成分

摘要

用离子束辅助沉积合成了TiN薄膜,背散射、X射线衍射和透射电镜实验的结果表明,在本实验条件下,薄膜Ti/N比接近于TiN的化学计量比,和氮离子束流密度无关。薄膜存在择优取向,在一定条件下,可以形成只有(100)取向的TiN薄膜。