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真空计量的若干进展

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摘要

真空计量学已发展成为计量学的一个新的独立分支,其研究内容已从传统的全压力测量与校准扩展到分压力测量与校准、气体微流量(漏率)测量与校准.描述了这3个方面的最新进展,从中可看出真空计量学的现状与发展趋势.

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来源
《真空与低温》|2003年第3期|125-133,174|共10页
作者
李得天;
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作者单位

兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类真空测试技术;电真空测试技术与设备;
关键词
真空计量学; 全压力; 分压力; 气体微流量(漏率);

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