公开/公告号CN109673158B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-02
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201780029724.0
发明设计人 塞巴斯蒂安·巩特尔·臧;安德烈亚斯·索尔;
申请日2017-08-17
分类号C23C14/56(20060101);C23C14/12(20060101);C23C14/04(20060101);C23C16/04(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:37:30
机译: 用于在真空处理室中支撑柔性基板的设备,构造成用于在柔性基板上进行层沉积的处理设备以及用于将柔性基板支撑在涂布鼓上的方法
机译: 用于真空室的热处理设备,用于在柔性基板上沉积材料的沉积设备,用于在真空室中热处理柔性基板的方法以及用于处理柔性基板的方法
机译: 用于真空室的热处理设备,用于在柔性基板上沉积材料的沉积设备,用于真空室中的柔性基板的热处理方法以及用于处理柔性基板的方法。