基于Fabry-Perot光学干涉腔的真空计量装置研究进展

摘要

随着国际单位制向量子化转变,基于光学方法的真空计量技术成为该领域的研究热点,最具代表性的是基于Fabry-Perot光学干涉腔的真空计量方法.介绍了该方法的测量原理,并对以美国NIST、瑞典Ume?和日本AIST等为代表的计量机构的研究进展进行了简要概述.介绍了本课题组研制的1台基于Fabry-Perot光学腔的真空计量装置的结构组成,给出了干涉腔精细度、温度稳定性和激光频率稳定性测试结果,表明,基于Fabry-Perot光学干涉腔的真空计量方法具有高灵敏度和可靠性,可有效促进我国真空计量技术向量子化转变,具有良好的应用前景.