基于迈克尔逊干涉仪平台的光学零件自动检测装置

摘要

光学面形检测是光学零件加工过程中的必要环节.传统方法利用光学样板进行人工样板检测,不能量化且易损伤光学零件.利用平面干涉仪或球面干涉仪检测所需设备成本较高且调校较复杂.在传统迈克尔逊干涉仪平台基础上进行改进,设计三维机械模型.该装置成本低,具备一定精度量化测量功能,自动化程度较高,在光学零件加工行业具有一定的实践价值.