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掺钯二氧化锡气敏薄膜的实验研究

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摘要

XPS分析表明,用直流溅射法制备的掺钯薄膜气敏元件,钯的溅射率比锡高,在薄膜中钯的含量高于靶中的含量、和纯SnO_2薄膜相比,此元件对还原性气体有很高的灵敏度,尤其对H_2和CH_4.对于该元件的气敏机理也作了初步探讨.

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来源
《传感器与微系统》 |1993年第6期|10-12,18|共4页
作者
曾宇平; 孟魏;
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作者单位

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类敏感器件;
关键词
溅射; 掺杂; 气敏薄膜; 气敏器件;

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