陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺

摘要

相对于电阻应变式测力传感器,国内电容式力传感器的可靠性与制造工艺还有许多方面需要改进和提高.主要介绍了陶瓷电容式力传感器中一种力敏元件在产品化过程中涉及的结构设计、关键材料选择以及生产制作工艺等方面的要求.实践表明:该陶瓷电容力敏元件的性能和可靠性都达到了大批量生产的要求,为进一步研制更多厚膜电容式测力传感器创造了基础和条件.