电容式多孔硅湿敏元件初探

摘要

阐述了电容式多孔硅湿敏元件的制备方法,并且研究了它的湿敏特性。实验结果表明:电容式多孔硅湿敏元件的电容值随着湿度的增大而显著增大,在中湿区（43．16％RH-68．86％RH）容湿特性为线性,而且有较小的湿滞。