硅基BCB工艺X波段发夹型带通滤波器的实现

摘要

设计了发夹型微带线带通滤波器,并通过电磁仿真软件高频结构仿真器(HFSS)进行优化.以高阻硅为衬底,以大厚度低损耗因子的苯并环丁烯(BCB)为介质,通过MEMS加工技术制作了中心频率8.6 GHz、带宽为9％的X波段带通滤波器样品.给出了详细的工艺流程,并就关键步骤进行介绍.给出了仿真结果与测试结果的对比,测试结果与仿真结果基本相符,制得的滤波器具有良好的传输性能,可以满足8.2～9.0 GHz频率范围内的通信要求,表明提出的设计方法合理,可实现工程应用.