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微压式液位传感器热灵敏度漂移的补偿

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摘要

介绍了微压式液位传感器的工作原理、总体结构设计及热灵敏度漂移的补偿技术与方法,给出了补偿结果,验证了补偿技术与方法的有效性和可行性,为提高硅压阻式传感器的温度稳定性与准确度提供了一种实用有效的新方法.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2004年第5期|51-53|共3页
作者
崔宏敏; 鞠文斌; 董加国;
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作者单位

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

中国电子科技集团公司,第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
传感器; 微压; 压阻式; 液位; 热灵敏度漂移;

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