宽温度压阻式传感器的热灵敏度漂移补偿

摘要

介绍了压阻式传感器的灵敏度温度补偿原理,给出了一种在宽温度范围内采用了分段补偿方式进行灵敏度温度补偿的方法,实现了宽温度范围内较高的补偿准确度.这里介绍的方案是通过数-模组合硬件电路实现分段补偿,具体方案是基于目前国内外OEM硅压力传感器厂商采用的固定电阻器并联补偿法.技术途径是设计一组温控开关电路来控制并联电阻器是否接入,温度信号来源于恒流源供电下的传感器桥压信号.此方法硬件电路及补偿计算均较简单,适用于较宽的温度环境,性能价格比合理.同时便于扩展为多段补偿以实现高补偿准确度,并且传感器在快速温变环境下工作时温度跟踪误差小.