稀土La掺杂SnO2薄膜气敏特性

摘要

用真空热蒸发两步法在玻璃衬底制备SnO2和La掺杂SnO2薄膜.研究氧化、热处理工艺和La掺杂含量对SnO2薄膜结构、气敏特性的影响.结果显示:经T=550℃,t=45 min氧化、热处理后,得到n型金红石结构SnO2薄膜.适当掺La可改善SnO2薄膜结晶状况,掺La后SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善,在气体体积分数为1×10-2时,掺La(5%)的SnO2薄膜对乙醇的灵敏度为12;掺La(3%)的SnO2薄膜对丙酮的灵敏度可达到14.