类金刚石涂层ta-C沉积工艺

摘要

20世纪70年代早期,类金刚石(DLC)涂层才首次见诸报道。工业上应用这种涂层起源于汽车部件,如高压柴油喷射系统和动力传动部件。当今,具有特殊优势的各种DLC涂层已在一些领域得到应用。DLC涂层通常由sp^3与sp^2键的比值和氢含量来分类。当碳元素通过sp^3键结合,就会形成金刚石;通过sp^2键结合,就会形成石墨。当sp^3与sp^2键的比值增大时,涂层的硬度通常会增加。