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一种芯片制造中的玻璃钝化工艺

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摘要

文章在分析TVS产品的功能和制作原理的基础上,针对目前TVS芯片PN结表面玻璃钝化工艺存在的问题,提出一种新的玻璃钝化工艺,给出玻璃钝化过程中最佳N2:O2浓度比、最佳原料组分比以及最佳烧结温度,使得公司TVS产品的成品率从原来的83％提高到95％.

著录项

来源
《科技创新与应用》|2021年第2期|128-131|共4页
作者
崔文荣;
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作者单位

江苏晟驰微电子有限公司江苏海安 226600;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类各种玻璃产品;
关键词
玻璃钝化; TVS; 烧结; 成品率;
入库时间 2023-07-24 15:59:40

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