一种减少电泳法玻璃钝化工艺玻璃点的方法

摘要

本发明提供一种减少电泳法玻璃钝化工艺玻璃点的方法，包括在对硅片进行氧化之前使用混酸对硅片进行清洗，混酸为体积比为硝酸：氢氟酸：冰乙酸：水为4‑8:1‑3:1‑3:1‑5的混合溶液，还包括在对硅片进行氧化之后涂胶之前转移硅片的过程中不接触硅片的表面，其中对硅片使用混酸清洗5‑30s。该方法可以大大减少电泳法玻璃钝化工艺玻璃点，提高产品外观和性能的效果。