СПОСОБЫ СПЕКАНИЯ, СКЛЕИВАНИЯ И ХИМИЧЕСКОЙ СВАРКИ РАСТВОРИТЕЛЕМ ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ПОЛИМЕРНЫХ И ПОЛИМЕР-СТЕКЛЯННЫХ МИКРОЧИПОВЫХ УСТРОЙСТВ

摘要

Одним из направлений развития современного приборостроения является создание аналитических систем на микрочиповой платформе для биологических, биохимических, генетических исследований. При изготовлении микрочиповых устройств герметизация обычно является финальной стадией и представляет собой процесс получения неразъемного соединения пластин. В работе представлены технологии герметизации, разработанные для микрочиповых устройств из полиметилметакрилата (ПММА), предназначенных для проведения полимеразной цепной реакции (ПЦР). Рассмотрены особенности способов спекания, склеивания фотоотверждаемыми композициями и химической сварки растворителем. Показано, что химическая сварка может применяться для герметизации гибридных (ПММА - неорганическое стекло) устройств. Предложен и апробирован критерий оценки герметичности микрочипового устройства гравиметрическим методом.