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混合式PtSi—SBIRFPA的进展

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摘要

着重介绍混合式硅化铂肖特基势垒红外焦平面阵列（ＨＰｔＳｉ－ＳＢＩＲＦＰＡ）的典型结构和现状。

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来源
《四川真空》 |1997年第1期|29-33|共5页
作者
程开富;
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作者单位

电子部重庆光电技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN210.3;
关键词
硅化铂; 肖特基势垒; 传感器; 红外焦平面阵列;

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