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参加SPIL‘s1996微机械加工和微型制造国际学术会议的情况汇报

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来源
《上海半导体》 |1997年第2期|33-35|共3页
作者
赖宗声;
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作者单位

华东师范大学电子工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类其他特种加工机具及其加工;
关键词
微机械加工; 微型制造; 国际学术会议; 微电子学;

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